(19)
(11) EP 1 018 147 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
12.07.2000  Patentblatt  2000/28

(21) Anmeldenummer: 98949891.0

(22) Anmeldetag:  14.08.1998
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: H01L 21/20
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/DE9802/359
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 9916/114 (01.04.1999 Gazette  1999/13)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
DE FR GB

(30) Priorität: 23.09.1997 DE 19741924

(71) Anmelder: Infineon Technologies AG
81541 München (DE)

(72) Erfinder:
  • KUHLMANN, Werner
    D-81541 München (DE)
  • SPÄTH, Werner
    D-83607 Holzkirchen (DE)
  • GRAMANN, Wolfgang
    D-93053 Regensburg (DE)
  • WEIGERT, Martin
    D-93152 Hardt (DE)

(74) Vertreter: Zedlitz, Peter, Dipl.-Inf. 
Patentanwalt,Postfach 22 13 17
80503 München
80503 München (DE)

   


(54) VERFAHREN ZUM HERSTELLEN EINES VERBUNDTEILS UND VERBUNDTEIL