(19)
(11) EP 1 018 158 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
12.07.2000  Patentblatt  2000/28

(21) Anmeldenummer: 98952548.0

(22) Anmeldetag:  03.09.1998
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: H01L 23/31, H01L 23/29
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/DE9802/613
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 9912/201 (11.03.1999 Gazette  1999/10)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
DE FR GB IE IT

(30) Priorität: 03.09.1997 DE 19738547

(71) Anmelder: EUPECEuropäische Gesellschaft fürLeistungshalbleiter mbH & Co. KG
59581 Warstein-Belecke (DE)

(72) Erfinder:
  • SCHILLING, Oliver
    D-59581 Warstein (DE)
  • WEIDNER, Peter
    D-59494 Soest (DE)

(74) Vertreter: Zedlitz, Peter, Dipl.-Inf. et al
Patentanwalt,Postfach 22 13 17
80503 München
80503 München (DE)

   


(54) FEUCHTIGKEITSSCHUTZ FÜR BORATGLASHALBLEITERPASSIVIERUNGSSCHICHTEN