(19)
(11) EP 1 019 957 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
19.07.2000  Patentblatt  2000/29

(21) Anmeldenummer: 98945074.7

(22) Anmeldetag:  30.07.1998
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: H01L 21/762
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/DE9802/181
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 9917/357 (08.04.1999 Gazette  1999/14)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
DE

(30) Priorität: 30.09.1997 DE 19743297

(71) Anmelder: Infineon Technologies AG
81541 München (DE)

(72) Erfinder:
  • BIEBL, Markus
    D-86163 Augsburg (DE)
  • PINDL, Stephan
    D-85238 Petershausen (DE)

(74) Vertreter: Zedlitz, Peter, Dipl.-Inf. et al
Patentanwalt,Postfach 22 13 17
80503 München
80503 München (DE)

   


(54) ERZEUGNIS UMFASSEND EINE FUNKTIONSSCHICHT ENTHALTEND SILIZIUM UND EINE ISOLIERSCHICHT AUS SILIZIUMDIOXID, SOWIE VERFAHREN ZU SEINER HERSTELLUNG