FELDEFFEKTTRANSISTOR HOHER PACKUNGSDICHTE UND VERFAHREN ZU SEINER HERSTELLUNG - Patent 1019965

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EP 1 019 965 A1

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(43)	Veröffentlichungstag:
	19.07.2000 Patentblatt 2000/29

(21)	Anmeldenummer: 98949904.1

(22)	Anmeldetag: 14.08.1998

(51)	Internationale Patentklassifikation (IPC)⁷: H01L 29/423, H01L 29/10, H01L 21/336

(86)	Internationale Anmeldenummer:
	PCT/DE9802/383

(87)	Internationale Veröffentlichungsnummer:
	WO 9917/370 (08.04.1999 Gazette 1999/14)

(84)	Benannte Vertragsstaaten:
	DE FR GB IT

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Priorität:

30.09.1997 DE 19743342

(71)	Anmelder: Infineon Technologies AG
	81541 München (DE)

(72)	Erfinder:
	TIHANYI, Jenö D-85551 Kirchheim (DE)

(74)	Vertreter: Zedlitz, Peter, Dipl.-Inf. et al
	Patentanwalt,Postfach 22 13 17 80503 München 80503 München (DE)

(54)	FELDEFFEKTTRANSISTOR HOHER PACKUNGSDICHTE UND VERFAHREN ZU SEINER HERSTELLUNG