(19)
(11) EP 1 021 653 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
26.07.2000  Patentblatt  2000/30

(21) Anmeldenummer: 98937514.2

(22) Anmeldetag:  19.06.1998
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: F04C 18/16, F04C 29/04, F04C 23/00
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP9803/756
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 9919/630 (22.04.1999 Gazette  1999/16)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
CH DE FR GB IT LI

(30) Priorität: 10.10.1997 DE 19745616

(71) Anmelder: Leybold Vakuum GmbH
50968 Köln (DE)

(72) Erfinder:
  • BAHNEN, Rudolf
    D-52159 Roetgen (DE)
  • DREIFERT, Thomas
    D-50996 Köln (DE)

(74) Vertreter: Leineweber, Jürgen, Dipl.-Phys. 
Aggerstrasse 24
50859 Köln
50859 Köln (DE)

   


(54) GEKÜHLTE SCHRAUBENVAKUUMPUMPE