(19)
(11) EP 1 021 815 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
26.07.2000  Patentblatt  2000/30

(21) Anmeldenummer: 98947333.5

(22) Anmeldetag:  24.07.1998
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7H01H 59/00
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/DE9802/092
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 9910/907 (04.03.1999 Gazette  1999/09)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
DE FR GB

(30) Priorität: 22.08.1997 DE 19736674

(71) Anmelder: Tyco Electronics Logistics AG
9323 Steinach / SG (CH)

(72) Erfinder:
  • SCHLAAK, Helmut
    D-13503 Berlin (DE)
  • KIESEWETTER, Lothar
    D-12357 Berlin (DE)

(74) Vertreter: Heinz-Schäfer, Marion 
AMP International Enterprises LimitedAMPèrestrasse 3
9323 Steinach (SG)
9323 Steinach (SG) (CH)

   


(54) MIKROMECHANISCHES ELEKTROSTATISCHES RELAIS UND VERFAHREN ZU DESSEN HERSTELLUNG