(19)
(11) EP 1 021 825 A1

(12)

(43) Date de publication:
26.07.2000  Bulletin  2000/30

(21) Numéro de dépôt: 98947604.9

(22) Date de dépôt:  06.10.1998
(51) Int. Cl.7: H01L 21/3105, H01L 21/306
(86) Numéro de dépôt:
PCT/FR9802/125
(87) Numéro de publication internationale:
WO 9918/605 (15.04.1999 Gazette  1999/15)
(84) Etats contractants désignés:
DE FR GB IT

(30) Priorité: 06.10.1997 FR 9712436

(71) Demandeurs:
  • STMicroelectronics SA
    94250 Gentilly Cedex (FR)

    DE FR GB IT 
  • COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE
    75015 Paris Cédex 15 (FR)

    DE FR GB IT 
  • FRANCE TELECOM
    75015 Paris (FR)

    FR 

(72) Inventeurs:
  • FLEURY, Alain
    F-73000 Barberaz (FR)
  • TARDIF, François
    F-38250 Lans-en-Vercors (FR)

(74) Mandataire: Casalonga, Axel et al
BUREAU D.A. CASALONGA - JOSSEMorassistrasse 8
80469 München
80469 München (DE)

   


(54) PROCEDE DE NETTOYAGE POST-POLISSAGE MECANO-CHIMIQUE D'UNE COUCHE D'OXYDE OU DE NITRURE DEPOSEE SUR UN SUBSTRAT