VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUM HERSTELLEN EINER SCHEIBE AUS HALBLEITENDEM MATERIAL - Patent 1021838

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EP 1 021 838 A1

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(43)	Veröffentlichungstag:
	26.07.2000 Patentblatt 2000/30

(21)	Anmeldenummer: 98947547.0

(22)	Anmeldetag: 24.09.1998

(51)	Internationale Patentklassifikation (IPC)⁷: H01L 31/18, C30B 11/00

(86)	Internationale Anmeldenummer:
	PCT/EP9806/082

(87)	Internationale Veröffentlichungsnummer:
	WO 9917/381 (08.04.1999 Gazette 1999/14)

(84)	Benannte Vertragsstaaten:
	AT CH DE ES FR GB IT LI SE
	Benannte Erstreckungsstaaten:
	LV

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Priorität:

26.09.1997 DE 19742653

(71)	Anmelder: Priesemuth, Wolfgang, Dipl.-Ing.
	83512 Wasserburg (DE)

(72)	Erfinder:
	Priesemuth, Wolfgang, Dipl.-Ing. 83512 Wasserburg (DE)

(74)	Vertreter: Barske, Heiko, Dr. rer. nat.
	Blumbach, Kramer & PartnerPatentanwälteRadeckestrasse 43 81245 München 81245 München (DE)

(54)	VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUM HERSTELLEN EINER SCHEIBE AUS HALBLEITENDEM MATERIAL