(19)
(11) EP 1 024 904 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
09.08.2000  Patentblatt  2000/32

(21) Anmeldenummer: 98955473.8

(22) Anmeldetag:  17.10.1998
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: B05C 11/08, H01J 9/20
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP9806/586
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 9922/877 (14.05.1999 Gazette  1999/19)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT CH DE FR LI

(30) Priorität: 31.10.1997 DE 19748063

(71) Anmelder: ACR AUTOMATION IN CLEANROOM GmbH
D-78078 Niedereschach (DE)

(72) Erfinder:
  • MANN, Roland
    D-70599 Stuttgart (DE)
  • SCHMUTZ, Wolfgang
    D-78658 Zimmern (DE)
  • GENTISCHER, Josef
    D-73630 Remshalden (DE)

(74) Vertreter: Fuhlendorf, Jörn, Dipl.-Ing. et al
PatentanwälteDreiss, Fuhlendorf, Steimle & Becker,Postfach 10 37 62
70032 Stuttgart
70032 Stuttgart (DE)

   


(54) VORRICHTUNG ZUM AUFBRINGEN EINER DÜNNEN SCHICHT AUF DIE OBERFLÄCHE EINES BILDSCHIRMGLASKOLBENS