(19)
(11) EP 1 027 726 A1

(12)

(43) Date de publication:
16.08.2000  Bulletin  2000/33

(21) Numéro de dépôt: 98938607.3

(22) Date de dépôt:  05.06.1998
(51) Int. Cl.7: H01L 21/3205, H01L 21/285, C23C 14/58, H01L 21/3213
(86) Numéro de dépôt:
PCT/EP9803/391
(87) Numéro de publication internationale:
WO 9903/142 (21.01.1999 Gazette  1999/03)
(84) Etats contractants désignés:
AT BE CH DE FR GB IE LI NL

(30) Priorité: 11.07.1997 EP 97111826

(71) Demandeur: EM Microelectronic-Marin SA
2074 Marin (CH)

(72) Inventeurs:
  • SCHÖNBÄCHLER, Edgar
    CH-2087 Cornaux (CH)
  • LECOHIER, Baudoin
    CH-2022 Bevaix (CH)

(74) Mandataire: Surmely, Gérard et al
I C BIngénieurs Conseils en Brevets SA,Rue des Sors 7
2074 Marin
2074 Marin (CH)

   


(54) METHODE D'OPTIMISATION DE LA VITESSE DE GRAVURE D'UNE COUCHE POLYCRISTALLINE