(19)
(11) EP 1 027 727 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
16.08.2000  Patentblatt  2000/33

(21) Anmeldenummer: 98955373.0

(22) Anmeldetag:  01.10.1998
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7H01L 21/3205
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/DE9802/956
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 9918/606 (15.04.1999 Gazette  1999/15)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE

(30) Priorität: 02.10.1997 DE 19743798
27.02.1998 DE 19808326

(71) Anmelder: MERCKLE GMBH
89143 Blaubeuren (DE)

(72) Erfinder:
  • HOFER, Eberhard, P.
    D-89173 Lonsee (DE)
  • KOHN, Erhard
    D-89081 Ulm (DE)
  • REMBE, Christian
    D-89077 Ulm (DE)
  • AUS DER WIESCHE, Stefan
    D-89077 Ulm (DE)
  • GLUCHE, Peter
    D-89231 Neu-Ulm (DE)
  • LEUNER, Rüdiger
    D-89231 Neu-Ulm (DE)

(74) Vertreter: Pfenning, Meinig & Partner 
Mozartstrasse 17
80336 München
80336 München (DE)

   


(54) MIKROAKTOR AUF DIAMANTBASIS