(19)
(11) EP 1 027 728 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
16.08.2000  Patentblatt  2000/33

(21) Anmeldenummer: 98951490.6

(22) Anmeldetag:  02.10.1998
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: H01L 21/607
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP9806/295
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 9923/697 (14.05.1999 Gazette  1999/19)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
DE ES FR GB IT SE

(30) Priorität: 30.10.1997 DE 19747846

(71) Anmelder:
  • DaimlerChrysler AG
    70567 Stuttgart (DE)
  • Shanghai Institute of Metallurgy
    Shanghai 200050 (CN)

(72) Erfinder:
  • XIE, Xiaoming
    Shanghai 200233 (CN)
  • SHEN, Zhongzhe
    Shanghai 200050 (CN)
  • FREYTAG, Jürgen
    D-63329 Egelsbach (DE)
  • STUBHAN, Frank
    D-63110 Rodgau (DE)

(74) Vertreter: Maute, Hans-Jürgen, Dipl.-Ing. 
DaimlerChrysler AG,Intellectual Property Manag.,Sedanstrasse 10/Geb. 17
89077 Ulm
89077 Ulm (DE)

   


(54) BAUELEMENT UND VERFAHREN ZUM HERSTELLEN DES BAUELEMENTS