(19)
(11) EP 1 029 100 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
23.08.2000  Patentblatt  2000/34

(21) Anmeldenummer: 98959748.9

(22) Anmeldetag:  21.10.1998
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: C23C 4/08, C23C 30/00
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/DE9803/092
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 9923/270 (14.05.1999 Gazette  1999/19)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
CH DE FR GB IT LI

(30) Priorität: 03.11.1997 DE 19748506

(71) Anmelder: SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT
80333 München (DE)

(72) Erfinder:
  • BEELE, Wolfram
    D-40883 Ratingen (DE)
  • HEIMBERG, Beate
    D-40478 Mülheim an der Ruhr (DE)

   


(54) ERZEUGNIS MIT EINEM SCHICHTSYSTEM ZUM SCHUTZ GEGEN EIN HEISSES AGGRESSIVES GAS