(19)
(11) EP 1 031 017 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
30.08.2000  Patentblatt  2000/35

(21) Anmeldenummer: 98962259.2

(22) Anmeldetag:  13.11.1998
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: G01L 9/00, G01L 15/00
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/DE9803/346
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 9926/048 (27.05.1999 Gazette  1999/21)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
DE FR GB

(30) Priorität: 13.11.1997 DE 19750131

(71) Anmelder: Infineon Technologies AG
81541 München (DE)

(72) Erfinder:
  • WERNER, Wolfgang
    D-81545 München (DE)
  • TIMME, Hans-Jörg
    D-85521 Ottobrunn (DE)

(74) Vertreter: Zedlitz, Peter 
Siemens AG,Patentabteilung,Postfach 22 16 34
80506 München
80506 München (DE)

   


(54) MIKROMECHANISCHE DIFFERENZDRUCKSENSORVORRICHTUNG