(19)
(11) EP 1 032 943 A2

(12)

(88) Veröffentlichungstag A3:
06.05.1999

(43) Veröffentlichungstag:
06.09.2000  Patentblatt  2000/36

(21) Anmeldenummer: 98955327.6

(22) Anmeldetag:  15.09.1998
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: H01J 37/32
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/DE9802/727
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 9914/787 (25.03.1999 Gazette  1999/12)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
DE FR GB IT

(30) Priorität: 17.09.1997 DE 19740792

(71) Anmelder: ROBERT BOSCH GMBH
70442 Stuttgart (DE)

(72) Erfinder:
  • WEBER, Thomas
    D-70825 Korntal-Münchingen (DE)
  • VOIGT, Johannes
    D-71229 Leonberg (DE)
  • LUCAS, Susanne
    D-70195 Stuttgart (DE)

   


(54) VERFAHREN ZUR ERZEUGUNG EINES PLASMAS DURCH EINSTRAHLUNG VON MIKROWELLEN