(19)
(11) EP 1 034 456 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
13.09.2000  Patentblatt  2000/37

(21) Anmeldenummer: 98963473.8

(22) Anmeldetag:  17.11.1998
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: G03F 7/20
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP9807/366
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 9928/789 (10.06.1999 Gazette  1999/23)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
DE FR GB IE IT NL

(30) Priorität: 28.11.1997 DE 19752713

(71) Anmelder:
  • Carl Zeiss
    89518 Heidenheim (Brenz) (DE)

    DE FR IE IT NL 
  • CARL-ZEISS-STIFTUNG, trading as CARL ZEISS
    89518 Heidenheim (DE)

    GB 

(72) Erfinder:
  • GERLINGER, Hermann
    D-73432 Aalen (DE)

   


(54) UV-OPTISCHES SYSTEM MIT REDUZIERTER ALTERUNG