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EP 1 035 229 B1 |
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EUROPÄISCHE PATENTSCHRIFT |
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Hinweis auf die Patenterteilung: |
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13.09.2006 Patentblatt 2006/37 |
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Anmeldetag: 16.02.2000 |
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Internationale Patentklassifikation (IPC):
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Rhodiumbad und Verfahren zum Abscheiden von Rhodium
Rhodium bath and process for rhodium deposition
Bain de rhodium et procédè pour le dépôt du rhodium
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Benannte Vertragsstaaten: |
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CH DE FR GB IT LI |
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Priorität: |
05.03.1999 DE 19909678
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Veröffentlichungstag der Anmeldung: |
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13.09.2000 Patentblatt 2000/37 |
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Patentinhaber: ROBERT BOSCH GMBH |
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70442 Stuttgart (DE) |
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Erfinder: |
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- Weber, Lothar
70499 Stuttgart (DE)
- Brinz, Thomas
73266 Bissingen unter der Teck (DE)
- Kuttesch, Edith
81549 München (DE)
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Entgegenhaltungen: :
US-A- 4 402 802
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US-A- 4 789 437
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- PATENT ABSTRACTS OF JAPAN vol. 008, no. 046 (C-212), 29. Februar 1984 (1984-02-29)
& JP 58 204168 A (KOGYO GIJUTSUIN;OTHERS: 0J), 28. November 1983 (1983-11-28)
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Bemerkungen: |
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Die Akte enthält technische Angaben, die nach dem Eingang der Anmeldung eingereicht
wurden und die nicht in dieser Patentschrift enthalten sind. |
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| Anmerkung: Innerhalb von neun Monaten nach der Bekanntmachung des Hinweises auf die
Erteilung des europäischen Patents kann jedermann beim Europäischen Patentamt gegen
das erteilte europäischen Patent Einspruch einlegen. Der Einspruch ist schriftlich
einzureichen und zu begründen. Er gilt erst als eingelegt, wenn die Einspruchsgebühr
entrichtet worden ist. (Art. 99(1) Europäisches Patentübereinkommen). |
Stand der Technik
[0001] Die Erfindung betrifft ein Rhodiumbad und ein Verfahren zum Abscheiden von Rhodium
auf einem Substrat, insbesondere zum stromlosen Rhodinieren von Oberflächen, nach
der Gattung der Hauptansprüche.
[0002] Stromlose Metallisierungsverfahren oder Metallisierungsbäder werden, im Gegensatz
zu galvanischen Verfahren, insbesondere zur Beschichtung von nichtleitenden Oberflächen,
von Pulvern oder von Bauteilen oder Substraten eingesetzt, die nicht oder nur unter
großem Aufwand einzeln kontaktiert werden können.
[0003] Ein Beispiel für ein derartiges Bad zum stromlosen Vergolden von Oberflächen oder
Pulvern ist beispielsweise in DE 197 45 797.5 vorgeschlagen worden.
[0004] Ähnliche Bäder zum stromlosen Abscheiden von Rhodium sind jedoch in der Literatur
bisher nur vereinzelt beschrieben. Eine Fundstelle dazu ist Molloroy & Hajdu, "Electroless
Plating: Fundamentals and Applications", (1990), American Electroplaters and Surface
Finishers Society. Die daraus bekannten Bäder zum stromlosen Abscheiden von metallischem
Rhodium leiden jedoch an geringen Badausbeuten, d.h. das eingesetzte Rhodium wird
unkontrolliert an der Gefäßwand abgeschieden oder fällt während der Metallisierung
aus dem Bad aus, so daß nur wenige Prozent der eingesetzten Rhodiumverbindung zur
eigentlichen Abscheidung oder Metallisierung genutzt werden und somit eine kontrollierte
bzw. definierte Rhodinierung von Substraten kaum möglich ist. Überdies sind bekannte
Bäder anfällig gegenüber geringen Schwankungen der Badparameter hinsichtlich Temperatur,
pH-Wert und der Konzentrationen der eingesetzten Badbestandteile.
[0005] Bekannte Rhodiumbäder verwenden zudem bevorzugt chlorhaltige Rhodiumausgangsverbindungen,
die bei Anwendungen in der Sensorik vielfach zu Störungen führen.
Vorteile der Erfindung
[0006] Das erfindungsgemäße Rhodiumbad und das damit durchgeführte Verfahren zum Abscheiden
gemäß den Ansprüchen 1 und 5 genüber dem Stand der Technik den Vorteil, daß die Badausbeute
wesentlich erhöht ist und nur ein sehr geringer Teil des eingesetzten Rhodiums ausfällt
oder sich an der Gefäßwand niederschlägt. Typische Badausbeuten liegen bei ca. 90%
und darüber. Somit wird eine kontrollierte und definierte stromlose Abscheidung von
Rhodium auf Substraten wie nichtleitenden Oberflächen, Metallen, Pulvern oder sonstigen
schwer zugänglichen oder schwer zu kontaktierenden Bauteilen in einfacher Weise, zuverlässig
und kostengünstig möglich.
[0007] Das erfindungsgemäße Rhodiumbad ist dabei nahezu universell auf verschiedensten Substraten
einsetzbar und überdies unempfindlich gegenüber Schwankungen der Badparameter hinsichtlich
des pH-Wertes des Bades, der Badtemperatur und der Konzentrationen der einzelnen eingesetzten
Badbestandteile.
[0008] Ein weiterer wesentlicher Vorteil ist, daß für das erfindungsgemäße Rhodiumbad Wasser
als Lösungsmittel verwendet werden kann und die eingesetzten Rhodiumverbindungen gut
wasserlöslich sind.
[0009] Vorteilhafte Weiterbildungen der Erfindung ergeben sich aus den in den Unteransprüchen
genannten Maßnahmen.
[0010] So läßt sich durch eine gezielte Einstellung der Bad- bzw. Verfahrensparameter bei
der Abscheidung hinsichtlich pH-Wert, Temperatur, Konzentrationen der einzelnen Badbestandteile
und Zeitpunkt, Art und Konzentration eines zugetropften Reduktionsmittels sehr vorteilhaft
und einfach eine Anpassung der Abscheidung oder Metallisierung hinsichtlich der abzuscheidenden
Rhodiummenge, der Dicke der Abscheidung und der Abscheidegeschwindigkeit an das eingesetzte
Substrat erreichen.
[0011] Besonders vorteilhaft ist weiterhin, wenn der pH-Wert des Rhodiumbades auf einen
Wert von 8,5 bis 10,5 und besonders bevorzugt auf 9 bis 10 eingestellt wird. Als Badtemperatur
eignet sich vorteilhaft eine Temperatur von 70°C bis 95°C, vorzugsweise von 80°C bis
90°C.
[0012] Weiterhin wird dem Rhodiumbad zur besseren Benetzung eines eingetauchten Substrates
vorteilhaft ein Benetzungsmittel, insbesondere ein Tensid wie ein Fluoralkohol zugesetzt.
[0013] Nach der Zugabe des zu metallisierenden bzw. zu rhodinierenden Substrates in das
Rhodiumbad wird diesem zur Beschleunigung der stromlosen Abscheidung vorteilhaft ein
Reduktionsmittel, insbesondere eine 10%-ige Hydrazinlösung zugegeben.
Ausführungsbeispiele
[0014] Für das Rhodiumbad wird zunächst als gut wasserlösliche Rhodiumverbindung Ammonium-di(Pyridin-2,6-dicarboxylat)-Rhodium(III),
oder ein Rhodiumacetat h. beispielsweise die Verbindung [Rh
3O(CH
3COO)
6(H
2O)
3](CH
3COO) in Wasser als Lösungsmittel gelöst. Auch eine Kombination mehrerer der o.g. gut
wasserlöslicher Rhodiumverbindungen ist möglich.
[0015] Unter gut wasserlöslichen Rhodiumverbindungen werden dabei solche Rhodiumverbindungen
verstanden, die sich bei einer Temperatur von 80°C bis 90°C in einer Menge von mindestens
1 g/l in Wasser lösen ohne auszufallen oder sich spontan zu reduzieren.
[0016] Als bevorzugte gut wasserlösliche Rhodiumverbindungen werden solche Rhodiumverbindungen
eingesetzt, die sich bei den genannten Temperaturen in einer Menge von typischerweise
mindestens 10 g/l in Wasser lösen lassen ohne auszufallen oder sich spontan zu reduzieren.
Die Obergrenze der in Wasser gelösten oder lösbaren Rhodiummenge liegt in den für
Erfindung relevanten Fällen bei ca. 50 g/l.
[0017] Die im Einzelfall in dem Wasser zu lösende Menge der Rhodiumverbindung richtet sich
nach der Größe der zu metallisierenden oder zu beschichtenden Oberfläche bzw. der
zu erzielen Dicke der Beschichtung und kann daher vom Fachmann im konkreten Fall davon
ausgehend leicht berechnet werden.
[0018] Zur besseren Benetzung eines im weiteren in das Rhodiumbad eingeführten Substrates
wird dem hergestellten Rhodiumbad weiter ein Tensid wie beispielsweise ein Fluoralkohol
in einer Konzentration von 0,01 % zugegeben.
[0019] Die Temperatur des Rhodiumbades beträgt 70°C bis 95°C, vorzugsweise 80°C bis 90°C.
Der pH-Wert des Bades wird auf einen Wert von 8,5 bis 10,5, vorzugsweise von 9 bis
10 eingestellt. Die Einstellung des pH-Wertes erfolgt beispielsweise mittels Ammoniak,
NaOH oder KOH.
[0020] In das derart vorbereitete Rhodiumbad wird nun ein Substrat eingeführt oder eingetaucht,
auf dem das in dem Bad enthaltene Rhodium in metallischer Form stromlos abgeschieden
wird. Als zu metallisierendes Substrat kommt dazu beispielsweise ein nichtleitendes
keramisches Pulver, ein keramisches Substrat, ein metallisches Pulver oder ein metallisches
Bauteil, insbesondere Al
2O
3, ZrO
2 oder Pt, in Frage. Vor dem Einführen oder Eintauchen des Substrates kann das Substrat
zusätzlich zuvor in an sich bekannter Weise aktiviert werden. Dies geschieht beispielsweise
über eine Abscheidung eines Pd-Salzes an der Oberfläche.
[0021] Nach dem Einführen oder Eintauchen des zu metallisierenden Substrates in das Rhodiumbad
wird diesem als Reduktionsmittel weiter eine 10%-ige Hydrazinlösung zugetropft, die
die Rhodiumabscheidung wesentlich beschleunigt.
[0022] Aus dem Rhodiumbad wurde dabei der weitaus größte Teil des enthaltenen Rhodiums in
metallischer Form auf dem zu beschichtenden Substrat abgeschieden. Typische Badausbeuten
liegen bei 90% und darüber. Der Abschluß des Abscheidevorganges durch Verbrauch des
im Rhodiumbad enthaltenen Rhodiums ist in einfacher Weise an einer Entfärbung des
Rhodiumbades erkennbar. Aufgrund der nahezu vollständigen Abscheidung des im Bad enthaltenen
Rhodiums auf dem Substrat ist die in das Bad einzusetzende Rhodiummenge somit in einfacher
Weise anhand der zu beschichtenden Oberfläche und der Dicke der zu erzielenden Beschichtung
zu errechnen.
1. Rhodiumbad, insbesondere zum stromlosen Abscheiden von Rhodium auf Substraten, wobei
das Rhodiumbad mindestens eine gut wasserlösliche Rhodium-Verbindung sowie Wasser
als Lösungsmittel enthält, dadurch gekennzeichnet, dass die gut wasserlösliche Rhodium-Verbindung Ammonium-di(Pyridin-2,6-dicarboxylat)-Rhodium(III)
oder ein Rhodiumacetat ist, und dass der pH-Wert des Bades zwischen 8,5 und 10,5 liegt.
2. Rhodiumbad nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass dem Rhodiumbad ein Benetzungsmittel, insbesondere ein Tensid wie ein Fluoralkohol,
zugesetzt ist.
3. Rhodiumbad nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass der pH-Wert des Bades zwischen 9 und 10 liegt.
4. Rhodiumbad nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass in dem Rhodiumbad eine Rhodiummenge von 1 bis 50 g/l, insbesondere von 5 bis 15 g/l
lösbar ist.
5. Verfahren zum Abscheiden von Rhodium auf einem Substrat mit einem Rhodiumbad nach
mindestens einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, dass ein Abschluss einer Beschichtung des Substrates durch eine Entfärbung des Rhodiumbades
angezeigt wird.
6. Verwendung eines Rhodiumbades zum stromlosen Abscheiden von Rhodium auf Substraten,
wobei das Rhodiumbad mindestens eine gut wasserlösliche Rhodium-Verbindung sowie Wasser
als Lösungsmittel enthält, dadurch gekennzeichnet, dass die gut wasserlösliche Rhodium-Verbindung Ammonium-di(Pyridin-2,6-dicarboxylat)-Rhodium(III)
oder ein Rhodiumacetat ist.
1. Rhodium bath, in particular for the electroless deposition of rhodium on substrates,
the rhodium bath containing at least one rhodium compound which is readily soluble
in water and water as solvent, characterized in that the rhodium compound which is readily soluble in water is ammonium-di(pyridine-2,
6-dicarboxylate)-rhodium(III) or a rhodium acetate, and in that the pH of the bath is between 8.5 and 10.5.
2. Rhodium bath according to Claim 1, characterized in that a wetting agent, in particular a surfactant, such as a fluoroalcohol is added to
the rhodium bath.
3. Rhodium bath according to Claim 1, characterized in that the pH of the bath is between 9 and 10.
4. Rhodium bath according to Claim 1, characterized in that from 1 to 50 g/l, in particular from 5 to 15 g/l, of rhodium can be dissolved in
the rhodium bath.
5. Process for depositing rhodium on a substrate using a rhodium bath according to at
least one of Claims 1 to 4, characterized in that the end of coating of the substrate is indicated by the rhodium bath losing its colour.
6. Use of a rhodium bath for the electroless deposition of rhodium on substrates, the
rhodium bath containing at least one rhodium compound which is readily soluble in
water and water as solvent, characterized in that the rhodium compound which is readily soluble in water is ammonium-di(pyridine-2,
6-dicarboxylate)-rhodium(III) or a rhodium acetate.
1. Bain de rhodium, en particulier pour le dépôt sans courant de rhodium sur des substrats,
et qui contient au moins un composé de rhodium bien soluble dans l'eau ainsi que de
l'eau comme solvant,
caractérisé en ce que
le composé de rhodium bien soluble dans l'eau est l'ammoniumdi(pyridine-2,6-dicarboxylate)-rhodium(III)
ou un acétate de rhodium, et le pH du bain se situe entre 8,5 et 10,5.
2. Bain de rhodium selon la revendication 1,
caractérisé en ce qu'
au bain de rhodium est ajouté un agent d'imprégnation, en particulier un agent tensioactif
comme un fluoroalcool.
3. Bain de rhodium selon la revendication 1,
caractérisé en ce que
le pH du bain se situe entre 9 et 10.
4. Bain de rhodium selon la revendication 1,
caractérisé en ce qu'
une quantité de rhodium allant de 1 à 50 g/l, en particulier de 5 à 15 g/l, est solubilisable
dans le bain de rhodium.
5. Procédé de dépôt de rhodium sur un substrat avec un bain de rhodium selon au moins
une des revendications 1 à 4,
caractérisé en ce que
l'achèvement du revêtement du substrat est indiqué par une décoloration du bain de
rhodium.
6. Utilisation d'un bain de rhodium, en particulier pour le dépôt sans courant de rhodium
sur des substrats, et qui contient au moins un composé de rhodium bien soluble dans
l'eau ainsi que de l'eau comme solvant,
caractérisée en ce que
le composé de rhodium bien soluble dans l'eau est l'ammoniumdi(pyridine-2,6-dicarboxylate)-rhodium(III)
ou un acétate de rhodium,