(19)

(11)

EP 1 036 031 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 20.09.2000  Patentblatt  2000/38 (21) Anmeldenummer: 98965678.0 (22) Anmeldetag:  18.11.1998

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: B67D 5/02, F04B 43/02 (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP9807/401 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 9928/232 (10.06.1999 Gazette  1999/23)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AT BE DE FR GB IT NL (30) Priorität: 01.12.1997 DE 19753286 (71) Anmelder: STEAG MicroTech GmbH 72124 Pliezhausen (DE)	(72) Erfinder: BOOS, Robert D-78166 Donaueschingen (DE) MÜLLER, Uwe D-01239 Dresden (DE)