(19)
(11) EP 1 038 320 A2

(12)

(88) Veröffentlichungstag A3:
09.12.1999

(43) Veröffentlichungstag:
27.09.2000  Patentblatt  2000/39

(21) Anmeldenummer: 98966240.8

(22) Anmeldetag:  17.11.1998
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: H01L 29/00
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP9807/361
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 9930/352 (17.06.1999 Gazette  1999/24)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
DE FR NL

(30) Priorität: 10.12.1997 DE 19754784

(71) Anmelder: ROBERT BOSCH GMBH
70442 Stuttgart (DE)

(72) Erfinder:
  • GLÜCK, Joachim
    D-71272 Renningen (DE)
  • HUEPPAUFF, Martin
    D-70563 Stuttgart (DE)

   


(54) VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINER MATRIX AUS DÜNNSCHICHTTRANSISTOREN MIT SPEICHERKAPAZITÄTEN