(19)

(11)

EP 1 038 321 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 27.09.2000  Patentblatt  2000/39 (21) Anmeldenummer: 98962270.9 (22) Anmeldetag:  16.11.1998

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: H01L 29/739, H01L 29/06, H01L 29/10, H01L 21/761, H01L 27/02 (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/DE9803/363 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 9926/295 (27.05.1999 Gazette  1999/21)

(84) Benannte Vertragsstaaten: DE FR GB IT (30) Priorität: 18.11.1997 DE 19750992 (71) Anmelder: ROBERT BOSCH GMBH 70442 Stuttgart (DE)	(72) Erfinder: FEILER, Wolfgang D-72766 Reutlingen (DE)