(19)

(11)

EP 1 040 527 A2

(12)

(88) Veröffentlichungstag A3: 29.07.1999 (43) Veröffentlichungstag: 04.10.2000  Patentblatt  2000/40 (21) Anmeldenummer: 98966531.0 (22) Anmeldetag:  11.12.1998

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: H01L 33/00 (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/DE9803/641 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 9930/372 (17.06.1999 Gazette  1999/24)

(84) Benannte Vertragsstaaten: BE DE FR GB NL (30) Priorität: 11.12.1997 DE 19754945 (71) Anmelder: FORSCHUNGSZENTRUM JÜLICH GMBH 52425 Jülich (DE)	(72) Erfinder: MANTL, Siegfried D-52428 Jülich (DE) LENSSEN, Daniel D-52428 Jülich (DE) BAY, Helge D-52441 Linnich (DE)