(19)
(11) EP 1 042 792 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
11.10.2000  Patentblatt  2000/41

(21) Anmeldenummer: 99971581.6

(22) Anmeldetag:  28.10.1999
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: H01L 21/268, C23C 14/28, H01L 39/24, B23K 26/00
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP9908/180
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 0026/951 (11.05.2000 Gazette  2000/19)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE

(30) Priorität: 29.10.1998 DE 19849658

(71) Anmelder: Deutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt e.V.
53175 Bonn (DE)

(72) Erfinder:
  • MENSCHIG, Arnd
    D-71093 Weil im Schönbuch (DE)
  • BÄHNISCH, Ralf
    D-70197 Stuttgart (DE)
  • HÜTTNER, Bernd
    D-70825 Korntal (DE)

(74) Vertreter: Beck, Jürgen, 
Hoeger, Stellrecht & Partner,Uhlandstrasse 14
70182 Stuttgart
70182 Stuttgart (DE)

   


(54) VERFAHREN UND EINRICHTUNG ZUM ABLÖSEN EINES AUSSCHNITTS EINER MATERIALSCHICHT