(19)
(11) EP 1 044 289 A2

(12)

(88) Veröffentlichungstag A3:
10.09.1999

(43) Veröffentlichungstag:
18.10.2000  Patentblatt  2000/42

(21) Anmeldenummer: 98965249.0

(22) Anmeldetag:  11.12.1998
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: C23C 16/00
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP9808/079
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 9931/291 (24.06.1999 Gazette  1999/25)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT DE ES FR GB IT PT SE

(30) Priorität: 15.12.1997 DE 19755595

(71) Anmelder: Volkswagen Aktiengesellschaft
38436 Wolfsburg (DE)

(72) Erfinder:
  • RODRIGUEZ, Cabeo, Emilio
    D-38550 Isenbüttel (DE)
  • LAUDIEN, Günther
    D-38542 Leiferde (DE)
  • RIE, Kyong-Tschong
    D-38124 Braunschweig (DE)
  • BIEMER, Swen
    D-38100 Braunschweig (DE)

   


(54) PLASMABORIERUNG