(19)
(11) EP 1 048 069 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
02.11.2000  Patentblatt  2000/44

(21) Anmeldenummer: 99953603.0

(22) Anmeldetag:  27.08.1999
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: H01L 21/60, H01L 21/66
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/DE9902/670
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 0013/228 (09.03.2000 Gazette  2000/10)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
DE FR GB IT

(30) Priorität: 01.09.1998 DE 19839760

(71) Anmelder: ROBERT BOSCH GMBH
70442 Stuttgart (DE)

(72) Erfinder:
  • BENZLER, Jan
    D-74343 Sachsensheim (DE)
  • HOEBEL, Albert-Andreas
    D-72760 Reutlingen (DE)
  • SCHMIDT, Gerhard
    D-91586 Lichtenau (DE)
  • RUPPRECHT, Stefan
    Tomioka-shi 37023 (JP)
  • RUZICKA, Thomas
    D-74321 Bietigheim-Bissingen (DE)
  • SCHUETZ, Reiner
    D-71254 Ditzingen (DE)
  • HONGQUAN, Jiang
    D-10551 Berlin (DE)

   


(54) VERFAHREN ZUR VERBINDUNG VON ELEKTRONISCHEN BAUELEMENTEN MIT EINEM TRÄGERSUBSTRAT SOWIE VERFAHREN ZUR ÜBERPRÜFUNG EINER DERARTIGEN VERBINDUNG