(19)
(11) EP 1 048 070 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
02.11.2000  Patentblatt  2000/44

(21) Anmeldenummer: 99963247.4

(22) Anmeldetag:  16.11.1999
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7H01L 21/68
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/DE9903/637
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 0030/172 (25.05.2000 Gazette  2000/21)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE

(30) Priorität: 18.11.1998 DE 19853092

(71) Anmelder: Leica Microsystems Jena GmbH
07745 Jena (DE)

(72) Erfinder:
  • KIRSCHSTEIN, Ulf-Carsten
    D-07751 Jena-Priessnitz (DE)
  • RISSE, Stefan
    D-07749 Jena (DE)
  • DAMM, Christoph
    D-07743 Jena (DE)
  • PESCHEL, Thomas
    D-07743 Jena (DE)

(74) Vertreter: Reichert, Werner F., Dr. 
Leica Microsystems International Holdings GmbH,Konzernstelle Patente + Marken,Postfach 20 20
35530 Wetzlar
35530 Wetzlar (DE)

   


(54) ÜBERNAHME- UND HALTESYSTEM FÜR EIN SUBSTRAT