(19)

(11)

EP 1 048 079 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 02.11.2000  Patentblatt  2000/44 (21) Anmeldenummer: 98965105.4 (22) Anmeldetag:  07.12.1998

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: H01L 29/739, H01L 29/78, H01L 29/06 (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/DE9803/592 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 9935/695 (15.07.1999 Gazette  1999/28)

(84) Benannte Vertragsstaaten: DE FR GB IT (30) Priorität: 09.01.1998 DE 19800647 (71) Anmelder: SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT 80333 München (DE)	(72) Erfinder: TIHANYI, Jenö D-85551 Kirchheim (DE) (74) Vertreter: Zedlitz, Peter, Dipl.-Inf.  Patentanwalt,Postfach 22 13 17 80503 München 80503 München (DE)