(19)
(11) EP 1 048 082 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
02.11.2000  Patentblatt  2000/44

(21) Anmeldenummer: 98951220.7

(22) Anmeldetag:  26.08.1998
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7H01L 29/94, H01L 21/334, H01L 21/3063
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/DE9802/507
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 9925/026 (20.05.1999 Gazette  1999/20)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE CH DE DK ES FI FR GB IE IT LI NL SE

(30) Priorität: 12.11.1997 DE 19750148

(71) Anmelder: EPCOS AG
81541 München (DE)

(72) Erfinder:
  • LEHMANN, Volker
    D-80689 München (DE)

(74) Vertreter: Epping, Wilhelm, Dipl.-Ing. et al
Epping Hermann & FischerPostfach 12 10 26
80034 München
80034 München (DE)

   


(54) SCHALTUNGSSTRUKTUR MIT MINDESTENS EINEM KONDENSATOR UND VERFAHREN ZU DESSEN HERSTELLUNG