(19)
(11) EP 1 050 069 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
08.11.2000  Patentblatt  2000/45

(21) Anmeldenummer: 98966678.9

(22) Anmeldetag:  28.12.1998
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: H01L 21/00
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP9808/469
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 9938/198 (29.07.1999 Gazette  1999/30)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE DE FR GB NL

(30) Priorität: 23.01.1998 DE 19802579

(71) Anmelder: STEAG MicroTech GmbH
72124 Pliezhausen (DE)

(72) Erfinder:
  • STORZ, Michael
    D-72160 Horb (DE)
  • REBSTOCK, Lutz
    D-72124 Pliezhausen (DE)
  • FINGERHOLZ, Aurelia
    Austin, TX 78754 (US)

   


(54) VORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUR BEHANDLUNG VON SUBSTRATEN