(19)
(11) EP 1 051 740 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
15.11.2000  Patentblatt  2000/46

(21) Anmeldenummer: 99907288.7

(22) Anmeldetag:  27.01.1999
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: H01L 21/20, H01L 21/205
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/DE9900/203
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 9938/201 (29.07.1999 Gazette  1999/30)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
BE DE FR GB NL

(30) Priorität: 27.01.1998 DE 19802977

(71) Anmelder: FORSCHUNGSZENTRUM JÜLICH GMBH
52425 Jülich (DE)

(72) Erfinder:
  • MANTL, Siegfried
    D-52428 Jülich (DE)
  • HOLLÄNDER, Bernhard
    D-51467 Bergisch Gladbach (DE)
  • LIEDTKE, Ralf
    D-51429 Bergisch Gladbach (DE)

   


(54) VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINER EINKRISTALLINEN SCHICHT AUF EINEM NICHT GITTERANGEPASSTEM SUBSTRAT, SOWIE EINE ODER MEHRERE SOLCHER SCHICHTEN ENTHALTENDES BAUELEMENT