(19)
(11) EP 1 051 747 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
15.11.2000  Patentblatt  2000/46

(21) Anmeldenummer: 98965667.3

(22) Anmeldetag:  11.11.1998
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: H01L 21/78, H01L 21/82
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP9807/231
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 9925/020 (20.05.1999 Gazette  1999/20)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
DE FR GB

(30) Priorität: 12.11.1997 DE 19750167

(71) Anmelder: FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FÖRDERUNG DERANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V.
80636 München (DE)

(72) Erfinder:
  • HABERGER, Karl
    D-82152 Planegg (DE)
  • PLETTNER, Andreas
    D-82340 Feldafing (DE)

(74) Vertreter: Grünecker, Kinkeldey, Stockmair & SchwanhäusserAnwaltssozietät 
Maximilianstrasse 58
80538 München
80538 München (DE)

   


(54) VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG INTEGRIERTER SCHALTKREISE