(19)
(11) EP 1 053 569 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
22.11.2000  Patentblatt  2000/47

(21) Anmeldenummer: 99964392.7

(22) Anmeldetag:  03.12.1999
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7H01L 41/083, H01L 41/053, F02M 59/46, F02M 51/06
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/DE9903/873
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 0036/657 (22.06.2000 Gazette  2000/25)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE

(30) Priorität: 11.12.1998 DE 19857247

(71) Anmelder: ROBERT BOSCH GMBH
70442 Stuttgart (DE)

(72) Erfinder:
  • HEINZ, Rudolf
    D-71272 Renningen (DE)
  • SUGG, Bertram
    D-70839 Gerlingen (DE)

   


(54) PIEZOELEKTRISCHER AKTOR