(19)

(11)

EP 1 053 569 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 22.11.2000  Patentblatt  2000/47 (21) Anmeldenummer: 99964392.7 (22) Anmeldetag:  03.12.1999

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: H01L 41/083, H01L 41/053, F02M 59/46, F02M 51/06 (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/DE9903/873 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 0036/657 (22.06.2000 Gazette  2000/25)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE (30) Priorität: 11.12.1998 DE 19857247 (71) Anmelder: ROBERT BOSCH GMBH 70442 Stuttgart (DE)	(72) Erfinder: HEINZ, Rudolf D-71272 Renningen (DE) SUGG, Bertram D-70839 Gerlingen (DE)