(19)
(11) EP 1 056 317 A3

(12) EUROPÄISCHE PATENTANMELDUNG

(88) Veröffentlichungstag A3:
21.05.2003  Patentblatt  2003/21

(43) Veröffentlichungstag A2:
29.11.2000  Patentblatt  2000/48

(21) Anmeldenummer: 00110869.5

(22) Anmeldetag:  23.05.2000
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: H05G 2/00
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE
Benannte Erstreckungsstaaten:
AL LT LV MK RO SI

(30) Priorität: 27.05.1999 DE 19924204

(71) Anmelder: GKSS-FORSCHUNGSZENTRUM GEESTHACHT GMBH
21502 Geesthacht (DE)

(72) Erfinder:
  • Schwenke, Heinrich
    21039 Escheburg (DE)
  • Knoth, Joachim
    21029 Hamburg (DE)

(74) Vertreter: Niedmers, Ole, Dipl.-Phys. 
Patentanwälte, Niedmers & Seemann, Van-der-Smissen-Strasse 3
22767 Hamburg
22767 Hamburg (DE)

   


(54) Einrichtung und Verahren zur Erzeugung von Röntgenstrahlen


(57) Es wird eine Einrichtung (10) und ein Verfahren zur Erzeugung von Röntgenstrahlen (11) vorgeschlagen, bei dem Laserlicht (12) auf die Oberfläche (14) eines Substrats (13) gerichtet wird. Dadurch wird auf der Oberfläche des Substrats (13) ein eine Röntgenstrahlenquelle bildendes Substrat-Atomplasma (16) erzeugt. Dabei ist das Substrat (13) in Richtung (17) des Laserlichts (12) vor einer zu untersuchenden Probe (18) angeordnet, wobei die Probe (18) für Analyse- oder Nachweiszwecke mit den Röntgenstrahlen (11) beaufschlagt wird, die durch das Substrat-Atomplasma (16) erzeugt werden.






Recherchenbericht