ATBECHDEDKESFRGBGRITLILUNLSEMCPTIESILTLVFIROMKCYAL..............................JDIM350 (Ver 2.1 Jan 2001) 1620000/01056317EUROPÄISCHE PATENTANMELDUNGA320030521EP00110869.520000523DeDeDe1992420419990527DE20030521200321200011292000487 7H 05G 2/00 AdeEinrichtung und Verahren zur Erzeugung von RöntgenstrahlenenDevice and method for generating X-raysfrDispositif et procédé de production de rayons-x2GKSS-FORSCHUNGSZENTRUM GEESTHACHT GMBH00253562606 EU Gk 5.00GEESTHACHT GMBH, GKSS-FORSCHUNGSZENTRUMMax-Planck-Strasse21502 GeesthachtDESchwenke, HeinrichFernsicht 421039 EscheburgDEKnoth, JoachimDuwockskamp 1421029 HamburgDENiedmers, Ole, Dipl.-Phys.00059132Patentanwälte, Niedmers & Seemann, Van-der-Smissen-Strasse 322767 HamburgDEATBECHCYDEDKESFIFRGBGRIEITLILUMCNLPTSEALLTLVMKROSI20030521200321

Es wird eine Einrichtung (10) und ein Verfahren zur Erzeugung von Röntgenstrahlen (11) vorgeschlagen, bei dem Laserlicht (12) auf die Oberfläche (14) eines Substrats (13) gerichtet wird. Dadurch wird auf der Oberfläche des Substrats (13) ein eine Röntgenstrahlenquelle bildendes Substrat-Atomplasma (16) erzeugt. Dabei ist das Substrat (13) in Richtung (17) des Laserlichts (12) vor einer zu untersuchenden Probe (18) angeordnet, wobei die Probe (18) für Analyse- oder Nachweiszwecke mit den Röntgenstrahlen (11) beaufschlagt wird, die durch das Substrat-Atomplasma (16) erzeugt werden.