(19)

(11)

EP 1 060 512 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 20.12.2000  Patentblatt  2000/51 (21) Anmeldenummer: 99964450.3 (22) Anmeldetag:  21.12.1999

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: H01L 23/556, H01L 23/58, H01L 25/065, H01L 23/48, G06F 11/20 (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/DE9904/055 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 0041/240 (13.07.2000 Gazette  2000/28)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE (30) Priorität: 30.12.1998 DE 19860817 (71) Anmelder: Infineon Technologies AG 81541 München (DE)	(72) Erfinder: BADER, Martin D-81667 München (DE) SMOLA, Michael D-80636 München (DE)