(19)

(11)

EP 1 060 523 A2

(12)

(88) Veröffentlichungstag A3: 23.12.1999 (43) Veröffentlichungstag: 20.12.2000  Patentblatt  2000/51 (21) Anmeldenummer: 99911706.2 (22) Anmeldetag:  25.02.1999

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: H01L 51/20 (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP9901/206 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 9945/595 (10.09.1999 Gazette  1999/36)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AT BE CH FR GB LI NL SE (30) Priorität: 03.03.1998 DE 19808936 (71) Anmelder: Aventis Research & Technologies GmbH & Co. KG 65926 Frankfurt am Main (DE)	(72) Erfinder: WINDHAB, Norbert D-65795 Hattersheim (DE) HOPPE, Hans-Ulrich D-65929 Frankfurt (DE) LUPO, Donald D-60316 Frankfurt (DE)