(19)
(11) EP 1 062 180 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
27.12.2000  Patentblatt  2000/52

(21) Anmeldenummer: 99955752.3

(22) Anmeldetag:  22.09.1999
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: B81B 3/00
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/DE9903/018
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 0023/376 (27.04.2000 Gazette  2000/17)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE

(30) Priorität: 15.10.1998 DE 19847455

(71) Anmelder: ROBERT BOSCH GMBH
70442 Stuttgart (DE)

(72) Erfinder:
  • BECKER, Volker
    D-76359 Marxzell (DE)
  • LAERMER, Franz
    D-70437 Stuttgart (DE)
  • SCHILP, Andrea
    D-73525 Schwaebisch Gmuend (DE)

   


(54) VERFAHREN ZUR BEARBEITUNG VON SILIZIUM MITTELS ÄTZPROZESSEN