INTEGRIERTE ELEKTRONISCHE SCHALTUNGSANORDNUNG UND VERFAHREN ZU IHRER HERSTELLUNG - Patent 1062696

(19)

(11)

EP 1 062 696 A1

(12)

(43)	Veröffentlichungstag:
	27.12.2000 Patentblatt 2000/52

(21)	Anmeldenummer: 99917747.0

(22)	Anmeldetag: 17.02.1999

(51)	Internationale Patentklassifikation (IPC)⁷: H01L 21/762, H01L 27/06, H01L 21/02

(86)	Internationale Anmeldenummer:
	PCT/DE9900/437

(87)	Internationale Veröffentlichungsnummer:
	WO 9946/815 (16.09.1999 Gazette 1999/37)

(84)	Benannte Vertragsstaaten:
	DE FR GB IT

(30)

Priorität:

12.03.1998 DE 19810825

(71)	Anmelder: SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT
	80333 München (DE)

(72)	Erfinder:
	REICHERT, Hansjörg D-81539 München (DE)

(74)	Vertreter: Ginzel, Christian et al
	Zimmermann & Partner,Postfach 33 09 20 80069 München 80069 München (DE)

(54)	INTEGRIERTE ELEKTRONISCHE SCHALTUNGSANORDNUNG UND VERFAHREN ZU IHRER HERSTELLUNG