(19)
(11) EP 1 064 680 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
03.01.2001  Patentblatt  2001/01

(21) Anmeldenummer: 99924682.0

(22) Anmeldetag:  25.03.1999
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: H01L 21/822, H01L 21/98, H01L 27/06, H01L 23/48
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/DE9900/906
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 9949/509 (30.09.1999 Gazette  1999/39)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE DE FR GB

(30) Priorität: 26.03.1998 DE 19813239

(71) Anmelder: FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FÖRDERUNG DERANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V.
80636 München (DE)

(72) Erfinder:
  • RAMM, Peter
    D-85276 Pfaffenhofen (DE)

   


(54) VERDRAHTUNGSVERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINER VERTIKALEN INTEGRIERTEN SCHALTUNGSSTRUKTUR UND VERTIKALE INTEGRIERTE SCHALTUNGSSTRUKTUR