(19)
(11) EP 1 064 681 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
03.01.2001  Patentblatt  2001/01

(21) Anmeldenummer: 98925416.4

(22) Anmeldetag:  20.03.1998
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: H01L 27/02
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/DE9800/820
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 9949/515 (30.09.1999 Gazette  1999/39)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
DE FR GB

(71) Anmelder: SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT
80333 München (DE)

(72) Erfinder:
  • KAMP, Winfried
    D-81739 München (DE)
  • KÜNEMUND, Ronald
    D-83623 Dietramszell (DE)
  • LACKERSCHMID, Eva
    D-81739 München (DE)
  • SÖLDNER, Heinz
    D-83052 Bruckmühl (DE)

(74) Vertreter: Viering, Hans-Martin, Dipl.-Ing. 
PatentanwälteViering, Jentschura & Partner,Postfach 22 14 43
80504 München
80504 München (DE)

   


(54) VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG VON INTEGRIERTEN SCHALTUNGEN MIT STANDARDZELLEN