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(11) | EP 1 065 385 A3 |
(12) | EUROPÄISCHE PATENTANMELDUNG |
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(54) | Verfahren zum Betrieb einer Mehrkammer-Vakuumanlage |
(57) Ein Verfahren zur Evakuierung einer Mehrkammer-Vakuumanlage zeichnet sich dadurch
aus, daß eine gegen Atmosphäre ausstoßende Vakuumpumpe (4) gleichzeitig als Vorpumpe
für eine Hochvakuumpumpe (3) und zum Evakuieren einer zweiten Vakuumkammer (2) dient.
Durch abwechselndes Öffnen und Schließen von Ventilen (5) und (6) kann das Verfahren
so durchgeführt werden, daß der auf der Hochvakuumseite ablaufende Prozeß nicht beeinträchtigt
wird. |