(19)
(11) EP 1 065 385 A3

(12) EUROPÄISCHE PATENTANMELDUNG

(88) Veröffentlichungstag A3:
11.04.2001  Patentblatt  2001/15

(43) Veröffentlichungstag A2:
03.01.2001  Patentblatt  2001/01

(21) Anmeldenummer: 00112484.1

(22) Anmeldetag:  13.06.2000
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7F04D 27/00, F04D 25/16
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE
Benannte Erstreckungsstaaten:
AL LT LV MK RO SI

(30) Priorität: 28.06.1999 DE 19929519

(71) Anmelder: Pfeiffer Vacuum GmbH
35614 Asslar (DE)

(72) Erfinder:
  • Abbel, Karl
    35619 Braunfels (DE)

   


(54) Verfahren zum Betrieb einer Mehrkammer-Vakuumanlage


(57) Ein Verfahren zur Evakuierung einer Mehrkammer-Vakuumanlage zeichnet sich dadurch aus, daß eine gegen Atmosphäre ausstoßende Vakuumpumpe (4) gleichzeitig als Vorpumpe für eine Hochvakuumpumpe (3) und zum Evakuieren einer zweiten Vakuumkammer (2) dient. Durch abwechselndes Öffnen und Schließen von Ventilen (5) und (6) kann das Verfahren so durchgeführt werden, daß der auf der Hochvakuumseite ablaufende Prozeß nicht beeinträchtigt wird.







Recherchenbericht