(19)
(11) EP 1 068 646 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
17.01.2001  Patentblatt  2001/03

(21) Anmeldenummer: 99914540.2

(22) Anmeldetag:  25.03.1999
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: H01L 31/0288, H01L 31/18, H01L 21/225
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP9902/038
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 9949/521 (30.09.1999 Gazette  1999/39)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
DE ES FR GB IT NL

(30) Priorität: 25.03.1998 DE 19813188

(71) Anmelder: SIEMENS SOLAR GmbH
80807 München (DE)

(72) Erfinder:
  • STERK, Steffen
    D-80804 München (DE)

(74) Vertreter: HOFFMANN - EITLE 
Patent- und RechtsanwälteArabellastrasse 4
81925 München
81925 München (DE)

   


(54) VERFAHREN ZUR EINSEITIGEN DOTIERUNG EINES HALBLEITERKÖRPERS