(19)
(11) EP 1 069 449 B8

(12) KORRIGIERTE EUROPÄISCHE PATENTSCHRIFT
Hinweis: Bibliographie entspricht dem neuesten Stand

(15) Korrekturinformation:
Korrigierte Fassung Nr.  1 (W1 B1)

(48) Corrigendum ausgegeben am:
01.02.2006  Patentblatt  2006/05

(45) Hinweis auf die Patenterteilung:
30.11.2005  Patentblatt  2005/48

(21) Anmeldenummer: 00111442.0

(22) Anmeldetag:  27.05.2000
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
G02B 21/16(1968.09)

(54)

Beleuchtungseinrichtung für ein DUV-Mikroskop

Illumination system for a deep ultraviolet microscope

Système d'illumination d'un microscope pour l'ultraviolet profond

(84) Benannte Vertragsstaaten:
DE FR GB

(30) Priorität: 10.07.1999 DE 19931954

(43) Veröffentlichungstag der Anmeldung:
17.01.2001  Patentblatt  2001/03

(73) Patentinhaber: Leica Microsystems CMS GmbH
35578 Wetzlar (DE)

(72) Erfinder:
  • Danner, Lambert
    35584 Wetzlar-Naunheim (DE)
  • Vollrath, Wolfgang
    57299 Burbach (DE)
  • Eisenkrämer, Frank
    35444 Biebertal (DE)
  • Osterfeld, Martin
    35578 Wetzlar (DE)
  • Veith, Michael
    35578 Wetzlar (DE)

(74) Vertreter: Reichert, Werner Franz 
Leica Microsystems International Holdings GmbH, Konzernstelle Patente + Marken, Postfach 20 20
35578 Wetzlar
35578 Wetzlar (DE)


(56) Entgegenhaltungen: : 
DE-A- 2 010 540
 US-A- 5 867 329
   
  • PATENT ABSTRACTS OF JAPAN vol. 1997, no. 03, 31. März 1997 (1997-03-31) & JP 08 313728 A (NIKON CORP), 29. November 1996 (1996-11-29)
   
Anmerkung: Innerhalb von neun Monaten nach der Bekanntmachung des Hinweises auf die Erteilung des europäischen Patents kann jedermann beim Europäischen Patentamt gegen das erteilte europäischen Patent Einspruch einlegen. Der Einspruch ist schriftlich einzureichen und zu begründen. Er gilt erst als eingelegt, wenn die Einspruchsgebühr entrichtet worden ist. (Art. 99(1) Europäisches Patentübereinkommen).