(19)
(11) EP 1 070 349 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
24.01.2001  Patentblatt  2001/04

(21) Anmeldenummer: 99922073.4

(22) Anmeldetag:  25.03.1999
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: H01L 21/8242, H01L 21/768
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/DE9900/894
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 9953/543 (21.10.1999 Gazette  1999/42)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
DE

(30) Priorität: 09.04.1998 DE 19816219

(71) Anmelder: SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT
80333 München (DE)

(72) Erfinder:
  • HÜBNER, Holger
    D-85598 Baldham (DE)
  • RÖHR, Thomas
    D-82178 Puchheim (DE)

(74) Vertreter: Ginzel, Christian et al
Zimmermann & Partner,Postfach 33 09 20
80069 München
80069 München (DE)

   


(54) HALBLEITERBAUELEMENT