(19)
(11) EP 1 071 923 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
31.01.2001  Patentblatt  2001/05

(21) Anmeldenummer: 99920685.7

(22) Anmeldetag:  10.04.1999
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: G01B 11/02, G01B 11/30
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP9902/569
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 9953/271 (21.10.1999 Gazette  1999/42)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
DE ES FR GB IT

(30) Priorität: 11.04.1998 DE 19816271

(71) Anmelder: Werth Messtechnik GmbH
35394 Giessen (DE)

(72) Erfinder:
  • CHRISTOPH, Ralf
    D-35641 Schöffengrund (DE)

(74) Vertreter: Stoffregen, Hans-Herbert, Dr. Dipl.-Phys. 
Patentanwalt,Friedrich-Ebert-Anlage 11b
63450 Hanau
63450 Hanau (DE)

   


(54) VERFAHREN ZUR PUNKTWEISE SCANNENDEN PROFILBESTIMMUNG EINER MATERIALOBERFLÄCHE NACH DEM AUTOFOKUSPRINZIP SOWIE KOORDINATENMESSGERÄT