(19)

(11)

EP 1 075 708 A2

(12)

(88) Veröffentlichungstag A3: 16.12.1999 (43) Veröffentlichungstag: 14.02.2001  Patentblatt  2001/07 (21) Anmeldenummer: 99929034.9 (22) Anmeldetag:  27.04.1999

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: H01L 31/0224, H01L 31/18, H01L 31/068 (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/DE9901/246 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 9956/324 (04.11.1999 Gazette  1999/44)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB IE IT LI NL PT SE (30) Priorität: 29.04.1998 DE 19819200 (60) Teilanmeldung: 00125466.3 (71) Anmelder: Fraunhofer-Gesellschaft zurFörderung der angewandten Forschung e.V. 80636 München (DE)	(72) Erfinder: LÜDEMANN, Ralf D-79100 Freiburg (DE) SCHAEFER, Sebastian D-79106 Freiburg (DE) (74) Vertreter: Gagel, Roland, Dr.  Patentanwalt Dr. Roland Gagel,Landsberger Strasse 480a 81241 München 81241 München (DE)