(19)

(11)

EP 1 076 918 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 21.02.2001  Patentblatt  2001/08 (21) Anmeldenummer: 99966875.9 (22) Anmeldetag:  16.12.1999

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: H01L 41/083, F02M 51/06 (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/DE9903/999 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 0049/666 (24.08.2000 Gazette  2000/34)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE (30) Priorität: 16.02.1999 DE 19906468 (71) Anmelder: ROBERT BOSCH GMBH 70442 Stuttgart (DE)	(72) Erfinder: MATTES, Patrick D-70569 Stuttgart (DE)