(19)

(11)

EP 1 078 166 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 28.02.2001  Patentblatt  2001/09 (21) Anmeldenummer: 98946450.8 (22) Anmeldetag:  11.09.1998

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: F04D 19/04, F04D 17/16 (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP9805/802 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 9960/275 (25.11.1999 Gazette  1999/47)

(84) Benannte Vertragsstaaten: DE FR GB IT (30) Priorität: 14.05.1998 DE 19821634 (71) Anmelder: Leybold Vakuum GmbH 50968 Köln (DE)	(72) Erfinder: BEYER, Christian D-50765 Köln (DE) ADAMIETZ, Ralf D-42929 Wermelskirchen (DE) HENRY, Markus D-53501 Grafschaft (DE) SCHÜTZ, Günter D-50679 Köln (DE) ENGLÄNDER, Heinrich D-52441 Linnich (DE) WALTER, Gerhard, Wilhelm D-50269 Kerpen (DE) FISCHER, Hans-Rudolf D-50374 Erftstadt (DE) (74) Vertreter: Leineweber, Jürgen, Dipl.-Phys.  Aggerstrasse 24 50859 Köln 50859 Köln (DE)