PROCEDE ET INSTALLATION DE CORRECTION DES DEFAUTS DE CIRCUITS INTEGRES PAR UN FAISCEAU D'IONS - Patent 1078388

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EP 1 078 388 A1

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(43)	Date de publication:
	28.02.2001 Bulletin 2001/09

(21)	Numéro de dépôt: 99918038.3

(22)	Date de dépôt: 10.05.1999

(51)	Int. Cl.⁷: H01J 37/305, H01J 37/317, H01L 21/768, H01J 37/02

(86)	Numéro de dépôt:
	PCT/FR9901/102

(87)	Numéro de publication internationale:
	WO 9959/184 (18.11.1999 Gazette 1999/46)

(84)	Etats contractants désignés:
	DE FR GB IT

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Priorité:

11.05.1998 FR 9805881

(71)	Demandeur: CENTRE NATIONAL D'ETUDES SPATIALES (C.N.E.S.)Etablissement public, scientifique et
	F-75039 Paris Cédex 01 (FR)

(72)	Inventeur:
	BENBRIK, Jamel F-31400 Toulouse (FR)

(74)	Mandataire: Cabinet BARRE LAFORGUE & associés
	95, rue des Amidonniers 31000 Toulouse 31000 Toulouse (FR)

(54)	PROCEDE ET INSTALLATION DE CORRECTION DES DEFAUTS DE CIRCUITS INTEGRES PAR UN FAISCEAU D'IONS