VERFAHREN ZUR KONTAKTIERUNG EINES ELEKTRISCHEN BAUELEMENTS UND ELEKTRISCHES BAUELEMENT

(19)

(11)

EP 1 078 397 A1

(12)

(43)	Veröffentlichungstag:
	28.02.2001 Patentblatt 2001/09

(21)	Anmeldenummer: 99947053.7

(22)	Anmeldetag: 01.04.1999

(51)	Internationale Patentklassifikation (IPC)⁷: H01L 21/768, H01L 23/48

(86)	Internationale Anmeldenummer:
	PCT/DE9901/059

(87)	Internationale Veröffentlichungsnummer:
	WO 9956/315 (04.11.1999 Gazette 1999/44)

(84)	Benannte Vertragsstaaten:
	AT BE DE FR GB

(30)

Priorität:

11.04.1998 DE 19816245

(71)	Anmelder: FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FÖRDERUNG DERANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V.
	80636 München (DE)

(72)	Erfinder:
	KLUMP, Armin D-80337 München (DE)

(54)	VERFAHREN ZUR KONTAKTIERUNG EINES ELEKTRISCHEN BAUELEMENTS UND ELEKTRISCHES BAUELEMENT