(19)
(11)
EP 1 080 333 A1
(12)
(43)
Veröffentlichungstag:
07.03.2001
Patentblatt 2001/10
(21)
Anmeldenummer:
00910804.4
(22)
Anmeldetag:
10.03.2000
(51)
Internationale Patentklassifikation (IPC)
7
:
F26B
5/04
,
F26B
21/14
(86)
Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP0002/111
(87)
Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 0053/983
(
14.09.2000
Gazette 2000/37)
(84)
Benannte Vertragsstaaten:
AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE
(30)
Priorität:
11.03.1999
DE 19910723
(71)
Anmelder:
Fraunhofer-Gesellschaft zurFörderung der angewandten Forschung e.V.
80636 München (DE)
(72)
Erfinder:
GRÖNINGER, Heinz-Bernhard
D-49733 Haren (DE)
(74)
Vertreter:
Einsel, Martin, Dipl.-Phys.
Patentanwalt,Jasperallee 1A
38102 Braunschweig
38102 Braunschweig (DE)
(54)
VORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUM VAKUUMTROCKNEN