(19)
(11) EP 1 080 333 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
07.03.2001  Patentblatt  2001/10

(21) Anmeldenummer: 00910804.4

(22) Anmeldetag:  10.03.2000
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7F26B 5/04, F26B 21/14
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP0002/111
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 0053/983 (14.09.2000 Gazette  2000/37)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE

(30) Priorität: 11.03.1999 DE 19910723

(71) Anmelder: Fraunhofer-Gesellschaft zurFörderung der angewandten Forschung e.V.
80636 München (DE)

(72) Erfinder:
  • GRÖNINGER, Heinz-Bernhard
    D-49733 Haren (DE)

(74) Vertreter: Einsel, Martin, Dipl.-Phys. 
Patentanwalt,Jasperallee 1A
38102 Braunschweig
38102 Braunschweig (DE)

   


(54) VORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUM VAKUUMTROCKNEN